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Photo Resist는 미량의 자외선에도 반응이 시작되는 고감도의 광개시제가 들어 있어 이것을 담는 용기는 자외선을 차폐하는 성능이 뛰어나야 한다.
또한 클린룸에서 사용되어짐으로 고도의 청정도 또한 요구되어진다.
여기에서는 현재 많이 사용되고 있는 Plastic과 Glass Bottle을 소개하고자한다.
 
1. 종류 : 1 liter, 4 liter(Gallon), 10 liter(그림 플라스틱바틀 삽입)
2. 포장 : 1 liter(50개, 1 BOX), 4 liter(20개, 1 BOX), 10 liter(8개, 1 BOX),
3. 용기 본체의 내약품성
 
1) 평가방법
 
Clean bottle을 JISK7113 2호형 시험편으로 쳐서 구멍난 것을Sample로 했다. 각 sample을 유기용제가 담긴 glass변에 침적시켜 시험온도 23도, 시험기간보관했던 sample의 팽윤도,강신도,MFR분석을 통해 유기용제에 대한 Clean 원료의 영향을 평가했다.
  * 팽윤도 침적전의 sample중량 M0를 측정, 침적후 sample을 킴와이퍼로 용제를 닦아낸 중량 M1을 측정하고 다음식을 사용해 팽윤도를 구한다.
n=3 팽윤도(%) = (M1-M0)/M0*100
  * 강신도 팽윤도를 측정한 SAMPLE을 이용했다. 시험은 JIS K7113에 의거한다. 유기용제에 침적하지않은 SAMPLE을 침적한 SAMPLE과 강신도를 비교했다.
인장속도 50mm/min, n=3
  * MFR 강신도를 측정한 SAMPLE을 이용했다. 시험은 JIS K7210에 의거한다. 미침적 SAMPLE을 준비해 침적 SAMPLE과 비교했다.
시험온도 190도, 2.16kgf 하중.
2) 평가결과
 
  침적시간 (月) 팽윤 강상강도 파단강도 파단연신
- 26.6 34.1 940
NMP 1 0.19 27.2 35.9 930
3 0.46 29.0 37.8 910
6 0.59 28.0 19.9 720
PGMEA 1 0.40 25.9 35.4 930
3 0.85 27.5 36.6 880
6 1.15 26.7 34.2 860
 
PGMEA에 대해서는 용기의 파손과 직결되는 파단연신의 DATA에 큰 변화는 보이지않으며 6개월까지의 DATA를 보면 사용상 문제가 없는걸로 생각되어진다.
또, 실제로 해당용기에 PGMEA를 넣고 사용하고 있습니다.
단, Clean bottle은 일반용기에 비해 내구성이 약한면이있어 oneway(편도)1년간의 사용을 권장합니다. 한편 NMP에 대해서는 파손을 잘 시키는 용제로 인식하고 있습니다.

이번 DATA를 보면 파손에 직결되는 열화는 확인되지않지만 수치의 저하는 확인되고 있습니다.
6개월을 경과하면 용기형상의 왜곡과 용제의 영향으로 파손이 일어나는 것도 있고 여기에대해서는 폐사는 6개월을 사용하기를 권장합니다.
역시 이 시험은 전체적으로 통상의 시험조건과 비교해 과도한 시험입니다.
(절편을 용제에 침적시키기 때문에 통상보다는 많은 용제가 bottle에 흡수됩니다.)
4. 용제에서의 clean 도
 
  bottle에서 용출되는 파티클 수의 측정방법에 대해서는 JIS규격에 정해져 있지않습니다.
당사에서는 <AICELL법>이라 칭하고 이하의 방법에 의거 파티클을 평가하고 있습니다.
  <AICELLO법>
  1) bottle용량의 반에 해당하는 초순수(용제)를 넣는다.
2) 캡을 닫고 약 15초간 흔든다.
3) 20분간 방치후 액중미립자계측기로 파티클수를 카운트한다.
※ 5ml를 흡인해 전수카운트 측정. 2회의 평균치를 측정치로 한다
4) 측정치로 하기의 환산식을 이용해 bottle의 파티클수를 산출한다.
      * 파티클수(개/ml) = 측정치(개)*측정액 충진량(ml) / 흡인량(5ml)*bottle용량(ml)
  상기의 AICELLO법으로 측정했던 DATA는 하기와 같습니다.
 
용제 Clean 도(um, 개/ml)
초기 1개월 후
0.2< 0.3< 0.5< 0.2< 0.3< 0.5<
EGA 0.7 0.1 0.0 5.4 1.2 0.2
PGMEA 3.0 0.8 0.2 3.6 0.9 0.2
초순수 12.1 2.0 0.2 14.6 2.6 0.2
  - 측정장치 : KL-22(RION 사 제품), - 측정법: AICELLO법
  *
폐사 파티클 카운트는 초순수용으로 조정되어 있어 굴절율이 다른 용제는 초순수와 같은 정확한 파티클을 검출할 수없을 가능성이 있습니다.
5. Clean bottle의 용제에 의해 용출되는 ion
 
  Clean bottle의 초순수에 의해 용출되는 metal ion을 ICP-MS로 측정해 이하에 표시했습니다.
Clean도와 같이 측정에 대해서 규격이 없어 AICELLO법으로 측정하고 있습니다.
  <AICELLO법>
  1) bottle용량의 반에 해당하는 초순수(용제)를 넣는다.
2) 캡을 닫고 약 15초간 흔든다.
3) 20분간 방치후 ICP-MS로 측정한다.(용제는 희석한다)
4) 측정치는 용기의 metal ion 농도로 한다.
      * 파티클수(개/ml) = 측정치(개)*측정액 충진량(ml) / 흡인량(5ml)*bottle용량(ml)
  상기의 AICELLO법으로 측정했던 DATA는 하기와 같습니다.
 
용제 용출 ion(ppb)
Na K Fe Ca Mg Mn Cu
< 1.0
< 1.0
< 1.0
EGA
PGMEA
초순수
  - 보관온도: 23도, - 보관기간 : 1개월, - 측정방법 : AICELLO법
- 분석장치 : ICP-MS, HP - 4500(요코가와 어낼리티컬 시스템사 제)
6. 가시광선, 자외선 흡광도
 
200 - 900nm에 있어서 흡수는 7이상입니다.
이것은 투과하는 광이 입사광의 10-7승보다 적은 것을 의미한다.
 
1. 재질 및 용량 : Glass, 1 Gallon
2. 포장 : 6개(1 BOX)
3. 도면
 

<그림 클린글래스도면 삽입.>
4. 규격
 
품질 특성 규격 허용치 비고
중량 (g) 1243.0 ±35.0  
용량 (㎖) 3846.0 ±25.5  
높이 (mm) 310.0 ±2.4 최고부
동경 (mm) 167.5   최대부
입구내경 (mm) 29.0 ±0.35  
입구외경 (mm) 34.85   최소
측벽두께 (mm) 1.2   최소
바닥두께 (mm) 3.6   최대
히즈미 (도) 29.9   최소(3.5kgf/㎠)
내압강도 (Mpa) 0.34    
내영강도 (?C) 42.0